随着摩尔定律逐渐走到物理极限,传统半导体芯片的功耗与速度瓶颈越来越难以突破,而基于电子自旋属性的新一代芯片,被认为是突破这一困境的核心技术方向。近日,中国科学院半导体研究所的研究团队,就在第三代自旋芯片的核心关键技术上,取得了重要的突破性进展。
我们熟悉的传统半导体芯片,依靠电子的电荷属性来存储和处理数据,而自旋芯片则是利用电子的自旋状态来实现信息的读写,理论上拥有速度更快、功耗更低、非易失性的优势。
其中,基于 \\ 自旋轨道矩(Spin-orbit torque,SOT)\\ 效应的第三代自旋芯片,更是被英特尔、三星、台积电等国际半导体巨头重点布局的技术路线,它有望彻底突破传统芯片面临的物理极限,解决当下芯片的功耗与速度难题。
如果采用垂直磁化比特来构建这类自旋芯片,还能实现更高的热稳定性和更长的数据保持时间,让存储的数据更稳定、更持久。但一直以来,这类器件都面临着一个核心难题:如何以可高密度集成的方式,实现高能效的全电写入?简单来说,就是怎么用很小的电流,就能完成数据的写入,同时还要能和现有的 CMOS 集成工艺兼容,这样才能大规模量产。

图源:Walden Kirsch/Intel
这次,中科院半导体所朱礼军研究员的团队,就提出了一个全新的解决思路:通过合金化的方式,大幅提高垂直自旋的产生效率!
团队将轻金属 Cu,重掺杂到自旋霍尔金属 Pt 当中,制备出了 Pt₀.₅Cu₀.₅的合金材料。这么简单的组分调整,居然带来了惊人的性能提升:垂直自旋扭矩的效率,直接增强了 5 倍以上!
靠着这个新的合金材料,团队在 4 英寸的热氧化硅晶圆上,成功制备出了高垂直各向异性的 FeCoB 器件阵列,并且实现了超低电流密度下的 100% 全电写入—— 这个写入的电流密度,仅仅只有 1.8×10⁷ A/cm²!
更重要的是,这是迄今为止,所有公开报道的、兼容 CMOS 集成的全电写入方案当中,最低的电流密度!这意味着,未来这类自旋芯片的写入功耗,能做到比之前的方案低得多,同时整个工艺还能和现有的硅基集成工艺完美兼容,完全具备大规模量产的潜力。
本次研究的所有结果,都基于严谨的实验测试与表征,用到扫描电子显微镜、透射电子显微镜、自旋轨道矩性能测试系统等仪器。
目前,这项研究的相关成果,已经发表在国际知名材料学期刊《先进功能材料》(Advanced Functional Materials)上,相关工作也得到了国家自然科学基金委员会、科学技术部等的资助与支持。
这项突破,不仅解决了垂直自旋器件全电写入的功耗瓶颈,还实现了与硅基集成工艺的完美兼容,为第三代自旋芯片的大规模量产,扫清了一个关键的技术障碍。未来,我们有望看到基于这项技术的国产低功耗自旋芯片,走进更多的应用场景当中。


